Plasma Screen
应用于ETCH反应腔内,与机台等离子体直接接触的核心工艺部件,用于等离子体氛围中晶圆外侧抽气流向需要保护表面的防护
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产品特点
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质量管理
产品特点
使用整体高纯钇基涂层
内壁阳极氧化,提高产品寿命
使用等离子喷涂技术做高纯钇基涂层
具备极高的化学稳定性及耐酸碱耐电压耐等离子腐蚀的涂层表面技术做防护,使得部件与等离子体直接接触
涂层原料纯度>99.95%
耐击穿电压>700V/mil,耐酸腐蚀>3h,结合力>14MPa
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